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Keysight 41000シリーズ統合パラメトリック解析/評価環境(iPACE)

妥協なき高性能統合型パラメトリック測定ソリューション

現在および将来の半導体プロセス・テクノロジーに携わるエンジニアや技術者は、少量生産テスト環境で非常に正確にウェハーを評価するための効率的な方法を多々必要とする事が頻繁にあります。Keysight 41000シリーズまたは統合パラメトリック解析/評価テスト環境(iPACE)は、この課題に対応する効果的なソリューションを提供します。

41000シリーズ・ソリューションは、プローブ・カード・ニードルのインタフェースや、ウェハーにまで高分解能 1fA 性能が必要なパラメトリック測定器ユーザが直面する共通の課題を解決します。41000シリーズの4つの標準構成は、ラックに組み込みまれた、既配線の状態で提供されます。2つはポジショナ・ベースのソリューションで新しい高性能スイッチング・マトリックスとプローブ・カード・インタフェースとを内蔵しています。これらの統合ソリューションを使用すると、時間がかかり、面倒な、ラックへの取り付け、配線、パラメトリック測定器の性能検証を行う必要がありません。

41000シリーズの最先端スイッチング・マトリックス機能により、 ウェーハの1 fAのキャパシタンス対電圧(CV)の評価テスト、電流対電圧(IV)の評価テストを開発ラボ環境で実行することができます。また、同じセットアップで、4個のSMUを使用したフルケルビン測定とCV測定も可能です。

最先端のスイッチング・マトリクスおよびプローブ・カード・テクノロジーにより、Keysightは業界で始めて1 fAおよび10 fA測定性能の2つのバージョンのプローブ・カード・ベース・ソリューションを実現しました。また、各標準構成に広範なオプションを追加することもできます。また、41000シリーズのすべてのバージョンで、オプションのキャパシタンス・メータ(最初はKeysight E4980A、他は後で追加可能)を使用することによりCV測定がサポートされます。

Keysight 41000シリーズは、高価な製造レベルのテスタと、ユーザが作成した測定器ソリューションとのギャップを埋める新しいソリューションを提供します。

  • スイッチング・マトリックスによる1 fA測定
    Keysight 41000シリーズを使用することにより、ウェハー評価テストを開発ラボ環境で行うエンジニアや研究者は、スイッチング・マトリックスとプローブ・カードにより、半導体パラメータ・アナライザの性能面で妥協する事なく非常に正確な測定を実現できます。この1 fAの分解能はプローブ・カード・ニードルとウェーハとのインタフェースに至るまで維持されます。 41000シリーズ・ソリューションの中心となる、B2200およびB2201低リーク・スイッチング・マトリックスにより、1 fAおよび10 fA測定が実現されています。B2220プローブ・カード・インタフェースとKeysightの高度な低リーク・プローブ・カードの高度な専門知識と組み合わせることで、この優れた測定性能で、半導体パラメータ・アナライザ(4155C、4156C)の測定の潜在能力をフルに引き出すことが可能です。この統合化によりカスタム・ソリューションを構築する際の手間が減少し、パラメータ・アナライザの性能を落とす事なくそのまま利用できます。
  • ポジショナ・ベースのCV測定とIV測定のサポート
    41000リーズが発売されるまで、ポジショナを使用したCV測定とIV測定の切り替えには、パラメータ・アナライザ・ケーブルとCメータ・ケーブルの接続や取外しを手動で行う必要がありました。41000シリーズの特許取得済みE5288Aアト・センス/スイッチ・ユニット(E5270B用)パラメータ・アナライザとB2200/B2201スイッチング・マトリックスを使用すると、ソフトウェア・コマンドでCV測定とIV測定とを容易に切り替えることができます。
  • 4個のSMUを使用したフルケルビン測定をサポート
    新しい特許取得済みスイッチング・マトリックスには、14個の入力(8個の3軸コネクタと6個のBNC)を備えています。各入力が一意の内部パスが対応し、複数の入力の必要性がなくなるので、高度な柔軟性が得られます。8個の3軸入力は、4個のSMUを使用する完全なケルビン測定(フォース/センス)をサポートしています。同じセットアップでCV測定用に2個の専用BNC入力を、将来の拡張用に4個のBNC入力を残せる柔軟性を持っています。このレベルでの自動化は、テスト効率を飛躍的に向上させます。
  • 補正機能内蔵のCV測定をサポート
    41000シリーズのモデル200、300、400は、CV測定データ用の補正機能を内蔵したB2200およびB2201スイッチング・マトリックスを使用しています。

特長と利点

特長 利点
統合型スイッチング・マトリックス、プローブ・カード・インタフェース、プローブ・カード 半導体パラメータ・アナライザの1 fAの測定性能を妥協せずに、ウェハー評価テストの自動化を実現  詳細
B2200およびB2201スイッチング・マトリックスは8個の3軸および6個のBNC入力を装備 半導体パラメータ・アナライザのあらゆる測定リソースを使用可能  詳細
アト・センス・ユニット(ASU) CV測定とIV測定の切り替えを容易に実行:配線の物理的な変更や別のプローブ・ステーションへの移行が不要、100 aA分解能
完全な統合ソリューション ウェハー評価テスト環境における使用に最適化された容易で安価なソリューション

コンポーネント

  • 4155C、4156C、E5270B半導体パラメータ・アナライザ
  • E5288Aアト・センスおよびスイッチ・ユニット(E5270B用)
  • B2200A/B2201A 低リーク・スイッチング・マトリックス
  • B2220Aウェーハ・プローバ・インタフェース(24ピンまたは48ピン)
  • 1.6 mラック、PDUおよびEMO付き(PDUとEMOはオプション)
  • E4980A Cメータ(オプション)

オプション

41000モデル100:超高性能(0.1 fA/0.5 μV)CV/IV測定

41000モデル200:高性能(1 fA/0.5 μV)CV/IV測定
・アナライザ・オプション(4155C、4156C、5270B)
・E4980A Cメータ(オプション)
・自動制御SW(I/CV)(オプション)
・PDU/EMO(オプション)

41000モデル300:1 fA/0.5 μV汎用CV/IV測定
・アナライザ・オプション(4156Cまたは5270B)モデル400のみ
・プローブ・カードI/Fピン(24または48)
・ケルビン・チャネル数(0~8)
・E4980A Cメータ(オプション)
・自動制御SW(I/CV)(オプション)
・PDU/EMO(オプション)

41000モデル400 :10 fA/0.5 μV汎用CV/IV測定
・アナライザ・オプション(4155C、4156Cまたは5270B)モデル400のみ
・プローブ・カードI/Fピン(24または48)
・ケルビン・チャネル数(0~8)
・E4980A Cメータ(オプション)
・自動制御SW(I/CV)(オプション)
・PDU/EMO(オプション)

主な仕様

仕様
電流測定分解能(モデル100) 0.1 fA(100 aA)
電流測定分解能(モデル200、300) 1.0 fA
電流測定分解能(モデル400)  10.0fA
電圧測定分解能(すべての4155C/4156Cオプション・ベースのモデル) 0.2μV
電圧測定分解能(すべてのE5270B HRSMU/MPSMUオプション・ベースのモデル) 0.5μV
プローブ・カードI/Fピン 24または48
ケルビン・チャネル数 0~4
C測定(オプション) 2MHz(E4980A)
PDU電圧(オプション) 100/120V 20A、220/240V 10A

パートナー様

下のプローブ・カード・サプライヤは、41000シリーズの1 fAバージョン(オプション300)と組み合わせて使用できる低リーク・ダイレクト接続プローブ・カードの提供パートナーとしてKeysightが認定しています。

  • Japan Electronic Material (JEM)
  • Micronics Japan Co., Ltd. (MJC)

 

該当する情報はありません。