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10706A 평면 미러 간섭계
키사이트 10706A 평면 미러 간섭계는 X-Y 스테이지와 같은 다중 축 분야에 사용되는 듀얼 패스 간섭계입니다.
주요 특징
키사이트 10706A 평면 미러 간섭계는 측정 미러가 측정 축에 수직으로 이동할 수 있는 X-Y 스테이지와 같은 다중 축 분야에 사용되는 듀얼 패스 간섭계입니다. 10706A의 고유한 특징은 평면 미러 반사기의 각도 오정렬 허용 오차입니다. 10706A는 다양한 측정 미러 각도 정렬 변화를 수용할 수 있습니다.
10706A는 2개의 역반사체(레퍼런스용 1개와 빔 경로 조작을 위한 1개)와 1개의 1/4 파장판을 포함합니다. X-Y 스테이지의 경우, 사용자가 미러를 준비해야 합니다. 단일 축의 경우, 10724A 평면 미러 반사기를 사용할 수 있습니다.
기준 역반사체와 1/4 파장판을 교환하는 방식으로 빔을 구부리는 데 10706A를 사용할 수 있습니다. 10706A는 이동하는 콤포넌트로는 사용할 수 없습니다.
차동 작동을 위해 기준 역반사체를 10722A 평면 미러 변환기로 대체하고 기준 평면 미러를 해당 기준 표면에 부착해야 합니다.
10706A는 10723A 고안정성 어댑터를 사용하여 10706B 고안정성 평면 미러 간섭계로 변환할 수 있습니다. 10706B는 기능적으로 정확히 10706A와 동일하지만 열적 안정성은 더 우수합니다.
- 응용 분야: 평면 미러
- 주요 특징: 평면 미러 반사기
- 축 수: 1개
- 최대 빔 크기: 6 mm
- 빔 간격: 12.7 mm(0.5인치)
- 무게: 308 g(10.9온스)
- 기본 광 분해능: λ/4(158.2 nm, 6.2 µin)
- 시스템 분해능: λ/128(5 nm, 0.2 µin), 32x 전자 분해능 확장 사용 기준
- 시스템 분해능: λ/1024(0.62 nm, 0.024 µin), 256x 전자 분해능 확장 사용 기준
- 반사기: 10724A 또는 사용자 제공
- 사용된 마운트: 10711A
- 레퍼런스: 없음
- 돌려진 구성: 예(장치 교환 방식)
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