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MEMS/NEMSデバイス

MEMS(マイクロ電気機械システム)は、システムとして動作する微小寸法(数μm程度)の回路素子を搭載した小型デバイスです。 NEMS(ナノ電気機械システム)も同様ですが、その範囲はnmです。 システムは通常、1つのチップ上に搭載された1台以上のセンサ、アクチュエーター、制御回路で構成されます。

MEMSデバイスはエネルギートランスデューサーで、 機械エネルギーまたは化学エネルギーを取り込んで、電気エネルギーに変換します。 一般的なアプリケーションとして、携帯電話、車載用アプリケーションなどによく用いられている加速度計、圧力センサ、ジャイロスコープ、流量センサ、磁力計、マイクロフォンがあります。 MEMSデバイスは、電気/光信号のスイッチやスキャナーなどの変位トランスデューサーにも用いられています。

キーサイトのソリューションを使用すれば、より正確なデバイスモデリング、より効率的な不具合解析、より優れたプロセスを実現できます。 製造プロセスの初期段階でオンウエハーインピーダンス測定を実行することは、MEMSデバイスの製造コストを低減するためには非常に効果的です。 物理的な信号を印加しなくても、性能をすばやく検証できるので、市場投入までの時間を短縮し、量産を実現することができます。