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レーザ・インタフェロメータとキャリブレーション・システム

Keysight Technologiesは、レーザ干渉計システム、最先端の電子計測システム、高精度光学コンポーネント、CMO(複合モノリシック・オプティクス)、オプトエレクトロニクス・システムのデザイン/製造分野での世界的なリーダとして、高い精度が必要なアプリケーションに対して計測ソリューションを提供しています。Keysightのシステムは、高い精度を広いダイナミック・レンジで提供することができます。高精度の位置測定を、大気中でも真空システム中でも行うことが可能です。

モジュラ型のインタフェロメータ・ソリューションとして、これまでに11,000以上のシステムが提供され、高精度の測定が必要な半導体リソグラフィ、宇宙/防衛、計測、製造分野での標準ソリューションとなっています。Keysightは、これらの分野のシステムの革新に今後も取り組んでいきます。

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Keysight Technologies E1738A 気温/気圧/湿度センサ
E1738A エアセンサは、5530 レーザー・キャリブレーション・システムを構成するKeysight E1736A USBセンサハブに接続して使用します。

データシート 2016-04-19

Keysight E1735A USB軸モジュール
Keysight E1735A USB軸モジュールは、Keysight 5530 レーザー・キャリブレーション・シ ステム内で、5519A/B レーザーヘッドのインタフェースとして使用されます。

データシート 2016-04-15

Keysight E1736A USBセンサハブ
E1736A USBセンサハブ

データシート 2016-04-06

Keysight Technologies E1737A 物体温度センサ
E1737A 物体温度センサ

データシート 2016-04-06

マニュアルが見つからない場合は、こちらをご参照下さい。
販売・サポート終了製品のマニュアルについてもお探しします。

ヘルプ・ファイル 2014-09-04

Laser Interferometer Electronics - Quick Fact Sheet
This two-page quick fact sheet highlights the key features and specifications for Keysight’s Laser Interferometer Electronics.

プロモーション資料 2012-07-24

PDF PDF 737 KB
5530 Laser Calibration System - Data Sheet
System specifications for 5530 laser calibration system.

データシート 2012-07-18

PDF PDF 2.34 MB
5530 Laser Calibration System Brochure

ブローシャ 2012-07-18

PDF PDF 659 KB
5530 Laser Calibration System Components Selection Guide

セレクション・ガイド 2012-07-11

PDF PDF 2.69 MB
55290B Rotary Axis Measurement Kit - Data Sheet

データシート 2012-07-04

PDF PDF 628 KB
10768A Diagonal Measurement Kit - Data Sheet

データシート 2012-07-04

PDF PDF 268 KB
55290A Angular Position Measurement Kit - Data Sheet
The 55290A calibrates rotational axes in turning and machining centers. It performs calibrations on full, partial or multiple rotations and improves angular positioning accuracy when possible.

データシート 2012-07-04

PDF PDF 490 KB
55280B Linear Measurement Kit Data Sheet

データシート 2012-07-04

PDF PDF 115 KB
55281A Angular Optics Kit

データシート 2012-07-04

PDF PDF 110 KB
55282A Flatness Accessory Kit - Data Sheet
With 5530 and 55281A, the kit measures flatness in 3 dimensions of a surface plate and machine bed, or measures way straightness of solid objects, such as machine tool ways and master straight edges.

データシート 2012-07-04

PDF PDF 746 KB
Are you getting the most from your machine tool operations?

ブローシャ 2012-06-18

PDF PDF 172 KB
10897D High Resolution VME Laser Axis Board
The Keysight 10897D High Resolution VME Laser Axis Board offers outstanding position resolution and low noise, resulting in unsurpassed positioning repeatability and accuracy compared to previous laser systems.

データシート 2012-05-08

PDF PDF 258 KB
10898D High Resolution Dual Laser Axis Board
The Keysight 10898D dual axis board combines the same excellent resolution of the 10897D board together with increased slew rates and even better noise performance.

データシート 2012-05-08

PDF PDF 246 KB
E1827A 2-Axis Interferometer, Yaw - Quick Fact Sheet
The E1827A features pre-aligned optical sensors, excellent beam parallelism, low non-linearity error and low thermal drift. Machined datums aid in positioning the unit and reduce alignment effort.

プロモーション資料 2012-05-08

PDF PDF 411 KB
Laser Interferometer Systems - Quick Fact Sheet
The QFS provides the list of components in 6 areas to configure a system to enable precision measurement of position changes. A complete system is comprised of one or more components from each area.

プロモーション資料 2012-05-08

PDF PDF 417 KB
Laser Interferometer Systems Position Calculations - Quick Fact Sheet
This QFS provides equations calculating positions from raw interferometer data for Keysight laser interferometer systems.

プロモーション資料 2012-04-20

PDF PDF 500 KB
Laser Interferometer Systems Compensation Number Calculations - Quick Fact Sheet
This QFS provides various ways of calculating the compensation number for Keysight laser interferometer systems when operating in an air environment.

プロモーション資料 2012-04-20

PDF PDF 495 KB
5517A/B/C/CL/D/DL/EL/FL/GL Laser Heads for Transducer Systems - Quick Fact Sheet
5517x are He-Ne lasers sources that provide highly stable and accurate 633 nm wavelength. A variety of Zeeman split frequencies, beam size and power levels are available. MTBF>50,000 hours typical.

プロモーション資料 2012-04-06

PDF PDF 460 KB
Laser Interferometer Beam Directing Optics - Quick Fact Sheet

プロモーション資料 2012-03-16

PDF PDF 445 KB
Laser Interferometer Measurement Optics - Product Fact Sheet
Keysight offers a wide selection of measurement optics for use with Keysight Laser Interferometer systems.

プロモーション資料 2012-03-14

PDF PDF 761 KB

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